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本文摘要:湿式光刻是利用适度的光刻液再作将圆晶要光刻的膜进行转化成,再作把其变为可溶的化学物质并去除,那湿式光刻清洗设备的构造和原理是啥?

湿式光刻是利用适度的光刻液再作将圆晶要光刻的膜进行转化成,再作把其变为可溶的化学物质并去除,那湿式光刻清洗设备的构造和原理是啥?今日就携带大伙儿瞧一瞧。一、光刻清除设备分类湿式光刻清洗设备按清除的构造方法能够分为槽体式大批量清除和片式清洗设备二种种类。而槽体式清除又可分为全自动清除和自动式清除二种机器设备。

二、清除机器设备构造组成清除机器设备关键由抗腐蚀声卡机架、酸洗槽、不锈钢水槽、湿冷槽、操控模块、排风系统模块及其汽体和液體管道模块等几绝大多数包括。▲湿式光刻清洗设备的构造构成部分在其中酸洗槽和管道模块是清除机器设备的关键构成部分。依照原材料的差别,槽体可分为用金属材质的生产制造的槽、用NPP材料生产制造的耐腐蚀的槽、用PVDF材料生产制造的槽、用PTFE材料生产制造的槽、用石英石材料生产制造的槽等,依照作用的差别槽体又可分为强酸强碱光刻槽、溢流式清除槽、比较慢排水口和使圆晶比较慢湿冷的湿冷槽等,依据清除加工工艺回绝的各有不同,还能够降低锈蚀液的显像及兆声清除、锈蚀液制冷或电加热器、加温、循环系统及去离子水制冷等清除作用。

在原材料随意选择上,不锈钢板槽关键作为有机化学水溶液或碱性溶液;而石英石制冷槽关键作为酸性溶液,并且该槽耐热,一般为二百摄氏度,最少能够超出四百摄氏度;高纯聚丙稀槽关键作为溫度超过八十摄氏度的强酸强碱水溶液;聚氟乙烯槽常常用于承装BOE及其盐酸,回绝溫度最少没法小于一百二十摄氏度。聚四氟乙烯槽可作为彻底全部的强酸强碱及其有机化学水溶液,其耐高温超过150摄氏度。在作用随意选择上,QDR槽即比较慢浇灌清除槽常常用以在强酸强碱光刻后对去离子水的清洗加工工艺上。其原理是再作从该槽体上端自喷及其底端流过去离子水,直到一定量后在把去离子水比较慢排尽。

根据把去离子水比较慢排出去取走残渣正离子。这一全过程一般要反复进行3-4个循环系统。

其原理如图所示1下图。▲图1QDR槽清除电路原理图显像槽就是指利用槽体底端或侧边显像接到振板造成超音波,超音波,超音波在水中或水溶液中溶解很多的汽泡,汽泡裂缝出狱强悍的机械能。

超音波的頻率一般来说为28kHz或48kHz,頻率越高,清除的顆粒就越小。加工工艺锈蚀槽就是指利用各种强酸强碱光刻液及其有机化学水溶液,搭建一些光刻全过程或清除的实际效果。溢流式槽的原理为底端不断流过去离子水,从上端四周外流,进而根据流水取走空气污染物。

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其原理如图2下图。


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